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真空熱壓燒結爐的日常應急措施

2024年11月22日 08:48 來源：上海晨華科技股份有限公司
　　真空熱壓燒結爐是一種用于高性能材料加工的先進設備，廣泛應用于半導體、陶瓷和金屬材料等領域。由于其復雜的結構和高溫高壓的工作環境，真空熱壓燒結爐在日常運行中可能會遇到各種緊急情況。為了確保設備的安全穩定運行，必須制定詳細的應急措施。以下是針對真空熱壓燒結爐日常應急措施的描述：
　　1. 冷卻水異常
　　- 確認加熱電源已停止：當發現冷卻水異常時，第一步應立即確認并停止加熱電源，以防止設備過熱。
　　- 采取應急措施保證水量：如果冷卻水量不足，應盡快采取措施補充水量，保持真空狀態。如果不能及時處理，則保持設備原狀，等待自然冷卻。
　　- 接通緊急用冷卻水：在高溫狀態下(超過200℃)，如果冷卻水停止，應立即接通緊急冷卻水，防止水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵被損壞。
　　2. 壓縮空氣停止
　　- 恢復壓縮空氣供應：當壓縮空氣異常報警時，應迅速到備用的壓縮機房，恢復壓縮空氣供應。
　　- 終止真空讓設備停下：如果壓縮空氣恢復需要較長時間，應終止真空，讓設備停下來，避免設備在無壓縮空氣的情況下繼續運行。
　　3. 停電
　　- 接通備用冷卻水：停電時，首先檢查是否斷水。如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，保證水源供應。
　　- 根據情況重新啟動或保持原狀：在非升溫、加熱和冷卻階段，如果電力能夠盡快恢復，可以重新啟動設備繼續運行；如果需要較長時間恢復，則將設備保持原狀。
　　- 自然冷卻：如果在加熱和冷卻階段停電，且短時間內無法恢復電力，應保持設備原狀，讓其自然冷卻下來。
　　4. 加熱電源掉電
　　- 檢查水壓和接地故障：當加熱電源掉電時，首先檢查水壓是否低于0.15MPa以及是否存在接地故障。
　　- 處理真空放電問題：如果爐內壓力為13.3-66.5Pa，可能是由于電介質擊穿引起的放電。此時應檢查水冷電極接頭與加熱器的連接是否牢固，并確保與反射屏絕緣良好。
　　5. 充氣氣體停止
　　- 確認氣體管路是否堵塞：抽真空開始前，如果氣體充入時間長或者無法充入，應先確認氣體管路是否被堵塞。
　　- 檢查電磁閥及充氣閥動作：如氣體管路沒有問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作是否正常。必要時，停止相關聯的設備進行檢查。
　　- 關閉氣體系統：如果向真空室內充氣不能停止，泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。
　　- 檢查是否有漏氣：確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。
　　6. 真空室壓力惡化
　　- 停止設備進行檢查：當真空排氣時間比通常長時，應把設備停下來進行檢查，通過壓力上升測試或用氦氣檢漏來確認是漏氣還是放氣的影響。

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