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三通道混氣CVD系統的使用注意事項

2023年12月23日 13:42 來源：上海添時科學儀器有限公司
三通道混氣CVD系統殼體結構：
雙層殼體結構并帶有風冷。
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環保節能。
內爐膛表面涂有美國1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命可開啟式，更換爐管方便。
溫控系統：
三個精密溫度控制器，可獨立控溫PID控制方式，通過PWM固體繼電器。
30段可編程智能溫度調節儀，并可設置30段升降溫程序。
帶有過熱和斷偶保護功能。
使用注意事項：
爐管內氣壓不可高于0.02MPa。 
由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa會更加精確安全。 
當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。 
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
石英管的長時間使用溫度＜1100℃對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。
 
關鍵詞： CVD系統

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