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真空烘箱的真空泵的工作原理與分類

2023年09月20日 08:29 來源:愛義信工業科技(上海)有限責任公司

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求,選用的真空泵的真空度佳的數值是133pa=-0.1兆帕。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍。

3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求,如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求,我公司的真空干燥箱選用的是旋片式油泵,其主要的特點:力道大,速度快,效率高。

6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸汽,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需

要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器、或液態水過濾器等。

7、真空泵排出來的油蒸汽對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。

8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9、真空泵的價格、運轉及維修費用。



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