1200℃開啟式管式爐PECVD系統
2020年06月04日 19:03
來源:鄭州宏朗儀器設備有限公司
- 控溫方式:采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。
- 加熱元件:0Cr27Al7Mo2
- 工作電源:AC220V 50Hz/60Hz
- 額定功率:4kw
- 爐管材質:高純石英管
- 爐管尺寸:Φ60/Φ80*1200mm
- 工作溫度:≤1150℃
- 額定溫度:1200℃
- 恒溫精度:±1℃
- 恒溫區:200mm
- 升溫速度:≤10℃/min
- 密封方式:不銹鋼快速法蘭擠壓密封
- 極限真空:6.0×10-5Pa
- 工作真空:7.6×10-4Pa
- 產品配置:雙級旋片真空泵+分子泵
- 測量方式:復合真空計
- 真空規管:電阻規+電離規
- 冷卻方式:風冷
- 抽速:110L/S
- 射頻電源系統
- 射頻功率輸出范圍:5~500W
- 射頻頻率:13.56MHz±0.005%
- 噪聲:≤55DB
- 冷卻方式:風冷
- 功率溫定度:± 0.1%
- 混氣系統流量規格:0-200sccm (可根據客戶需要配置)
- 線性:±1.5%F.S
- 準確度:±1.5%F.S
- 重復精度:±0.2%F.S.
- 響應時間:≤8sec
- 耐壓:3MPa
- 氣路通道:4通道(根據客戶需求)
- 針閥:316不銹鋼
- 管道:Φ6mm不銹鋼管
- 接口:SwagelokΦ6mm
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