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過去數十年來,為了芯片的晶體管數量以推升計算性能,半導體制造技術已從1971年10,000nm制程升級至2022年3nm制程,逐漸逼近目前已知的物理極限。但隨著人工智能、AIGC等相關應用高速發展,設備端對于核心芯片的性能需求將越來越高;在制程技術提升可能遭遇瓶頸,但是對算力需求持續走高的情況下,通過2.5D/3D先進封裝技術提升芯片內部晶體管數量就顯得格外重要。
CoWoS是一種2.5D、3D的封裝技術,可以分成“CoW”和“WoS”來看。“CoW(Chip-on-Wafer)”是芯片堆疊;“WoS(Wafer-on-Substrate)”則是將芯片堆疊在基板上。CoWoS就是把芯片堆疊起來,再封裝于基板上,最終形成2.5D、3D的型態,可以減少芯片的空間,同時還減少功耗和成本。
Blue MUltra-Temp®惰性氣體高溫烤箱在工作溫度下進行了壓力測試,適用于所有惰性氣體和不易燃的形成氣體(4%的氫氣,平衡的氮氣)。
CoWoS半導體先進封裝烘箱的優點
焊接和密封的內部腔室消除了煙霧向絕緣材料的遷移
防止產品氧化
當氣流漏氣時,向操作者發出警報,并關閉烤箱加熱器,以盡量減少不良后果
當門打開時,門開關會關閉加熱器和鼓風機,以確保操作人員的安全
適用于氬氣,二氧化碳,氦氣和氮氣等惰性氣體
露天重型鎳鉻絲加熱元件
*的內殼/外殼腔室允許冷卻液周圍的空氣在惰性氣體內腔室周圍循環
攝入鼓風機電動機
控制面板上有氣體流量和腔室壓力監控器及調節器
大容量水平氣流系統
6英寸的礦棉絕緣材料
Blue M玻璃纖維大門密封圈設計
3/8英寸入口連接
排氣口和風門
泄壓閥
吹掃計時器
加熱使能燈
型號IGF 8880和9980是水冷門
NFPA 86 B級烤箱
溫度:室溫+15℃-593℃(1099°F)
均勻度:設定值的±2%
控制精度:±0.5°C
分辨率:±0.1°C
額定電壓下關閉排氣裝置空載運行
型號 | IGF-6680 | IGF-7780 | IGF-8880 | IGF-9980 |
內部容積 | 4.2 立方英尺 | 5.8 立方英尺 | 11.0 立方英尺 | 24.0 立方英尺 |
內部尺寸 寬x深x高 (厘米) | 20 x 18 x 20 (51x46x51) | 25 x 20 x 20 (64x51x51) | 38 x 20 x 25 (97x50x64) | 48 x 24 x 36 (122x61x91) |
外部尺寸 寬x深x高 (厘米) | 46 x 36 x 71 (117x91x180) | 51 x 38 x 71 (130x97x180) | 86 x 38 x 76 (218x97x193) | 96 x 43 x 81 (244x109x206) |
機器占地面積 | 12.5 平方英尺. | 14.5 平方英尺 | 24.0 平方英尺 | 32.2 平方英尺 |
電力負載 | ||||
208 VAC 3Ph 50/60 Hz 負載電流 | 12.0 kW 38 | 15.7 kW 47 | 18.8 kW 59 | 22.5 kW 72 |
240 VAC 3Ph 50/60 Hz 負載電流 | 16.0 kW 43 | 21.0 kW 54 | 25.0 kW 68 | 30.0 kW 82 |
480 VAC 3Ph 50/60 Hz 負載電流 | 16.0 kW 21 | 21.0 kW 27 | 25.0 kW 32 | 30.0 kW 41 |
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