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混氣系統4路質子GSL-4Z
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    所在地區
  • 2024-06-18 09:00

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產品詳細


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產品簡介: 混氣系統 4 路質子 GSL-4Z 是用于控制一種到四種的氣體流經真空密封的管式爐, 這種氣體控 制系統安裝在移動架內, 管式爐可以放在移動架上面, 氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的 調節閥,可以用于 CVD 系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響,在半導體和集成電路工業、特種 材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用, 廣泛應 用于電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統及 其它分析儀器。


產品型號

混氣系統 4 路質子 GSL-4Z

主要特點

精度高,運行穩定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

技術參數

1、電源: 185-245V    50Hz


2、輸出功率: 18W


3、控制范圍: 控制器 1——0-100SCCM 、控制器 2——1-199SCCM、


控制器 3——1-199SCCM 、控制器 4——1-499SCCM


4、壓力: 3×106 Pa


5、準確度:± 1%FS


6、線性:±0.5-1.5%


7、重復精度:±0.2%FS


8、響應時間: 氣特性 1-4s ,電特性 10s 針閥: 316 不銹鋼





9、工作壓差范圍: 0.1-0.5 MPa


10、壓力表測量范圍: -0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid


11、混氣罐: ?80mm×120mm


12、截止閥: ?1/4″ 316 不銹鋼針閥


13、工作溫度: 5-45

產品規格

尺寸: 600mm×600mm×650mm


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