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產品型號

混氣系統 3 路質子 GSL-3Z

主要特點

精度高，運行穩定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。

技術參數

1、電源： 185-245V    50Hz

2、輸出功率： 18W

3 、 控 制 范 圍 ： 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器

3——1-499SCCM

5、準確度：± 1%FS

6、線性：±0.5-1.5%

7、重復精度：±0.2%FS

8、響應時間： 氣特性 1-4s ，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼

9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa

10、壓力表測量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）

11、混氣罐： ?80mm×120mm

12、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥

13、工作溫度： 5-45℃

產品規格

尺寸： 600mm×600mm×650mm