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產品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

技術參數

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質 子 流 量 控 制 器

工作溫度： 5~45ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線 性 : ± （ 0.5-1.5  ） %F.S.     重  復  精

度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費用

工作溫度： 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S.

重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S.     重  復  精

度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±（0.5-1.5）%F.S.

重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM          五-九路可按照客戶要求 定制

產品規格

外形尺寸： 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

輸入電源

AC 220V/50Hz 單相

功  率

23W

各通道的氣路設定和查看都集中在一 6"的觸摸屏上

RS485 通訊接口和 PC 控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制

PLC 觸摸屏

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針  閥

316 不銹鋼

通氣管道

內部連接管道為 1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為 1/4”聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配 件

316 不銹鋼針閥

Φ1/4” 不銹鋼管