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（V2MS17）技術方案書

一、                      主要用途

VHSms-20/20/30-1700真空硅鉬棒爐為氣體保護多用途爐，可滿足在還原氣體或成型氣體氣氛中對藍寶石退火，還原、燒結和表面處理等工藝需要，廣泛應用于航空航天、金屬材料、粉末冶金、陶瓷產品、半導體器件、厚膜電路、磁性材料等領域。

1.                      用于晶片的還原氣氛下保護燒結；

2.                      用于一些難熔金屬在還原氣氛保護下燒結；                                                                

3.                      用于在真空高溫環境中有蒸發的材料釬焊；

4.                      用于粉末材料還原燒結成型；                                                                            

5.                      可滿足藍寶石退火需要。

（設備圖示，以實際出貨產品為準）

二、                      主要特點

1.                      具備完善的報警功能，更的安全連鎖保護系統；                                            

2.                      完善的氣氛控制系統，滿足各種工藝需要；      

3.                      高性能優質電氣元件保證設備長期運行的穩定可靠性；                                          

4.                      低負荷加熱器，可有效提高設備的使用壽命；

三、                      設備型號

本設備為臥式周期式真空氣氛爐，型號為VHSms-20/20/30-1700（V2MS17），其具體代碼含義如下圖所示。

四、                      主要技術參數

1.       額定加熱功率：        9KW(以實際為準)

2.       最高溫度：            1700℃（設計溫度）

3.       長期工作溫度：        1600℃（驗收溫度）

4.       加熱元件：                        硅鉬棒

5.       控溫精度：                        充氣時±2℃；穩定時±1℃

6.       爐膛尺寸：        200×200×300mm（W×H×D）

7.       冷態極限真空度：        6.7X10-1Pa（空爐并經凈化）

8.       測溫傳感器：                B型熱電偶

9.       冷卻方式：            充氣自然冷卻

10.       保護氣氛：            氮氣或氬氣，一路氣氛

11.       氣氛壓力：                        ≤0.02MPa（微正壓、表壓）

12.       混氣系統：               1通道浮子流量計供氣系，浮子流量計（0-10L/min）

13.       控制方式：            手動/自動自由切換

五、                      設備采用的標準

設計和制造采用的主要標準如下：

1.                      GB6654-1996 壓力容器的鋼性選用

2.                      GB10067.1-88 電熱設備的基本技術條件

3.                      GB5959.1-88 電熱設備的安全

4.                      GB10066.1-88 電熱設備的試驗方法

其它有關標準參照工業爐設計手冊。

六、                      結構組成

本設備由爐體、爐門、加熱與保溫系統、真空系統、氣路系統、冷卻系統、氣動系統、溫度及電氣控制系統、安全系統等組成。

七、                      設備結構特征

1.                      爐體

爐體為雙層殼體臥式結構，內外壁均為304不銹鋼，并經仔細的拋光，表面光滑，有利于縮短抽氣時間，且便于清潔。雙層殼體之間通水冷卻，確保爐壁溫度低于55℃。爐體及其接管內表面拋光后均經過嚴格的水壓及氣壓試驗，以確保焊縫質量而不發生滲漏，真空室經過嚴格的真空極限及真空漏率測試。

爐體側部設有真空抽氣口、熱電偶測溫口、進出水口、電極口等。爐體上下壓頭的密封采用可靠的金屬波紋管密封。

附屬品：        

1)       真空接管

2)       電極引入接管

3)       熱電偶引入接管

4)       真空測量及真空指示接管

5)       冷卻水接管

6)       爐腿

2.                      爐門

爐門采用雙層水冷結構，內外壁均為304不銹鋼經精密拋光處理，內外壁之間通水冷卻，爐門側部設有進出水口等。

3.                      加熱與保溫系統

爐襯采用復合爐襯，內側耐火爐襯選用多孔氧化鋁砌筑，外層選用氧化鋁纖維板及硅酸鋁纖維棉組成復合保溫爐襯，合理的卡槽式拼裝結構，能有效保證爐膛的牢固性、溫度的損耗；合理的加熱器對輻射排布及功率的分布都有效的保證溫場的均勻度，此種結構保溫效果好，爐墻使用壽命長。

加熱系統由電力控制器、電極、發熱體、熱電偶等組成。

（1）加熱功率及分布

采用單區加熱控溫，安裝一支控制熱電偶，加熱爐的發熱體采用硅鉬棒，發熱元件均勻布置于爐膛兩側，有效的保證了溫場的均勻性提高加熱系統的可靠性，安全性。

（2）測溫裝置

測溫元件采用B型熱電偶配合溫度控制儀進行溫度閉環控制，測溫元件測量溫度并供給溫度控制器控制信號，從而調整功率調控器的輸出，從而控制變壓器的輸出大小，以滿足系統的控溫需求。此外，在保溫屏外側，設有監測熱電偶，當系統超溫時，通過控制系統及時切斷加熱電源，確保設備安全。

4.                      真空系統

真空系統由直聯泵、擴散泵、氣動高真空閥、真空變送器、真空壓力表、真空放氣閥、真空管路等組成，并留有充氣接口。為減少爐體振動，真空管道與泵的連接采用金屬波紋管，真空度由真空變送器測量。

真空閥門設掉電保護和安全聯鎖，如設備突然斷電，真空系統的各系統閥門自動調整為關閉狀態，保護真空室。

所有真空管路均采用不銹鋼或碳鋼電鍍制造。管路連接處采用金屬波紋管連接，以隔絕直聯泵的震動，防止將震動傳遞至真空加熱室系統。

5.                      氣路系統

氣體系統主要完成運氣、排氣等動作。氣路控制均采用安全電磁閥、手動針閥控制，采用電子式數顯壓力表，對爐膛壓力能時時監控，當到達壓力會自動關閉進氣管上的電磁閥，并進行報警，使用安全性更高。氣體系統增加故障時自動放氣和手動放氣的選擇功能，解決用戶特殊情況下的斷電排氣問題。

集成式的氣路、電路控制面板，讓客戶操作更加方便；所有進氣口全部經過短暫預熱直接進入爐膛使用區域，以便保護氣氛能最快、全面的接觸工件（可以通氬氣、氮氣等惰性氣體）；爐體后部有二路進氣口，右側有二路排氣口（排放氣體密度大于空氣密度的保護氣氛氣體、也可作為緊急時破除真空用接口）。

本設備壓力系統由氣源裝置（氣瓶用戶自備）、閥門站、控制氣路、超高壓管路等組成。其作用是根據工藝要求，向工作缸提供高壓氣體。

6.                      水冷系統

系統由集成式進水組件（不銹鋼管）、集成式回水組件（不銹鋼管）、球閥、優質橡膠管及接頭等組成?；厮绞讲捎梅忾]式，在關鍵回路如電極上設置了水溫水流量傳感器，水溫過高或水流量不足時及時報警并停止加熱。

進水主管路上設有電接點壓力表，當水壓不足時提供信號給控制系統，然后由控制系統判斷報警，啟動備用水源系統或切斷電源。設備的備用水裝置由客戶自備，備用水流量≥5m3/h。

水路特點：

1)                      所有水路管道均采用耐高溫、高壓軟管材質，確保不生銹；其他輔助水路管道采用高壓防爆管道。確保水路安全；

2)                      關鍵管路設置有水流量傳感器和水溫傳感器和報警裝置，水流量過低報警，水超溫報警，及時發現安全隱患。進水路欠水壓與加熱PLC互鎖，水壓低時，報警并停止加熱。

3)                      使用方須做好備用水源及UPS電源。主電路停電可立即切換至UPS電源，給水泵供電，冷卻水源循環，確保爐體安全。

7.                      氣動系統（需選配空壓機）

由氣動三聯件（除水器、壓力表、油霧器）、電磁換向閥，管道和產氣量為0.6m3/min的空壓機（可選配）等組成?？蓪鈩訄绦性ㄈ鐨飧?、充氣閥、真空閥門等）提供潔凈的壓縮空氣，確保氣動原件運行穩定可靠，管路走向整潔美觀。

8.                      溫度及電氣控制系統

電氣控制系統：全自動 PLC+觸摸屏系統，可以手動、自動切換。

電源控制系統軟件介紹： 有以下特點：

1)       源控制具有手動和自動兩種控制方式，手動和自動都可以在觸摸屏上控制，操作方便、系統穩定，具有誤操作提示報警功能。

2)       溫控系統：全自動 PLC+觸摸屏系統，可以手動、自動切換，采用熱電偶和控溫儀表控制電源的輸出從而控制模具的溫度，觸摸電腦自動記錄燒結過程及歷史曲線。配備 PLC 控制器（西門子/歐姆龍），具有 PID 及超溫報警功能，能儲存和輸出記錄，清晰反應爐子工作狀況。

3)       控制系統軟件由我公司自行開發，人機界面操作系統，畫面友好，操作簡單，響應速度快，可對爐內工況進行實時監測，系統穩定可靠。

4)       本設備可自動采集溫度曲線、真空度曲線和燒結時間等曲線，對各個工藝參數（溫度、真空度）實現動態顯示，方便用戶根據歷史曲線分析燒結工藝。

5)       通訊接口豐富，如 RS485、LAN、USB 等，易于和其它設備 組網應用。軟件控制界面形象化，能夠動態顯示工作流程，方便直觀。

6)       控制系統上設有過流、超溫及斷水等分類報警功能，電器元件采用施耐德、 LG等品牌，產品品質有保證。電控柜按照西門子標準制作，所有的儀表及控制元件集中到一個電控柜內。

7)       軟件免費升級。

溫度的控制也可通過數顯溫度程序控制儀根據用戶設定的工藝曲線，實行自動控制溫度，并具有PID自整定功能，也可根據用戶需要手動控制溫度。

八、                      安全保護系統

1.                      電氣聯鎖保護系統；

2.                      保險絲；

3.                      電熱過電流保護裝置。

九、                      整機要求

1.                      電力需求：     220V/380V，三相五線制，12KVA，50Hz

2.                      起重設備：     ＞1.2噸

3.                      壓縮空氣氣源：

1)                      耗量：     ~3L/s

2)                      壓力：     ≥0.6Mpa

4.                      水源：

1)                      耗量：      ＞10m3/h

2)                      水壓：      0.15~0.3Mpa

3)                      進水水溫： ≤25℃

4)                      水質：      PH值7.0～8.5，懸浮物固體＜100mg/L，總硬度CaO＜10mg當量/L，溶解性固體＜30mg/L，電導率＜500μS/cm；及總排水管與設備的連接管路和閥門；

十、                      安裝、調試及驗收

1.                      甲方負責地基、氣源、乙方電控柜的總線輸入端之前的進線電纜。在所有準備工作完成后，通知乙方進行安裝、調試。設備以賣方組織，買方配合的方式在買方現場安裝、調試并達到買方正常使用的要求；

2.                      驗收工作完成后，由雙方共同簽署設備最終驗收報告。

十一、                      培訓

1.                      設備安裝調試過程中，賣方同時對買方設備使用人員進行必要的操作和維護保養的培訓。經培訓，用戶技術人員能夠達到獨立正確操作設備并能判斷故障及簡單維修。

2.                      培訓計劃和內容：

十二、                      保固期

機器全系統保固壹年。

十三、                      售后

保固期內，若設備發生故障（易損件除外），我公司在2小時內給予回復，并在72小時內派員到達現場，組織維修。

長期優惠提供備品備件。

十四、                      隨機資料

1.                      操作說明書。

2.                      出廠檢驗報告。

3.                      安裝調試必需的圖紙。

十五、                      客戶選配配件

1.                      冷水機HCA-10      1臺

2.                      水路管道及法蘭：   1套

3.                      空壓機HA-1        1臺

4.                      分子泵組/DM或/OD：1臺